T700型多路质量流量校准仪
主要性能特点流量测量精度：全量程的±1%；流量控制再现性：全量程的±0.2%；流量测量的线性：全量程的±0.5%；稀释气的流量范围： 0-10 SLPM, 可选：0-20 SLPM,0-5 SLPM。臭氧发生器模块 最大输出：6 ppm L/min最小输出：100 ppb L/min紫外光度计（选项） 满量程范围：100 ppb – 10ppm，用户可调 精度：1.0 ppb
- 型号： T700
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主要性能特点
流量测量精度：全量程的±1%；
流量控制再现性：全量程的±0.2%；
流量测量的线性：全量程的±0.5%；
稀释气的流量范围： 0-10 SLPM, 可选：0-20 SLPM,0-5 SLPM。
臭氧发生器模块
最大输出：6 ppm L/min最小输出：100 ppb L/min
紫外光度计（选项）
满量程范围：100 ppb – 10ppm，用户可调
精度：1.0 ppb